送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)、用90%去离子水和10%的配置清洁剂;
(3)、使用已获批准的洁净室专用去污剂;
(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
(6)、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
(7)、在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的专用真空吸尘器。
(8)、所有的门都需要检查并擦干
(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
洁净室无尘车间的造价师多少？针对此问题我们首先提出一个概念：每一个无尘车间不会有一个固定的套餐去做为参考.但是我们可以把影响造价的因素列出，作为造价的参考.
1.级别等级，市场上常规可分为：十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、一百万级……，级数越小洁净度要求越高，则造价越高
2.生产工艺连续，各室无独立性，适用于大规模的生产工艺，无尘车间面积大，间数多，位置较集中，但各室洁净度不宜相差太大，通过所选送回风口的形式及不同的布置，可实现多种气流组织方式，统一送、回风，管理集中，系统管理复杂，各洁净室不可单独调节，维修量小，此无尘车间的造价较低.
3.生产工艺单一，各室独立，适用于改造工程，无尘车间位置分散，无尘车间单一，可实现多种气流组织形式，净化车间多少钱，但噪声和振动需加以控制，操作简单，维修量小，调节管理方便，此无尘车间的造价较高.
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